低溫等離子廢氣處理的基本原理：電場(chǎng)激發(fā)出的電子、自由基、激發(fā)態(tài)分子（主要是O3等）等活性物質(zhì)，是低溫等離子體技術(shù)凈化有機廢氣的關(guān)鍵。VOCs組分解離的難易程度，一方面取決于電子的能量，另一方面還取決于分子中化學(xué)鍵的鍵能。電子在放電過(guò)程中獲得的能量主要集中在2~12eV之間，而VOCs分子分解所需要能量剛好均在這個(gè)區域內。

        目前，產(chǎn)生低溫等離子體的常用方法是電暈放電和介質(zhì)阻擋放電。

        電暈放電，是在大氣壓或高于大氣壓條件下，使用電極表面曲率半徑很小的電極，如針狀電極或細線(xiàn)狀電極，由于放電空間電場(chǎng)不均勻，使電離過(guò)程主要局限于局部電場(chǎng)很高的電極附近，特別是發(fā)生在曲率半徑很小的電極附近或薄層中，并伴隨明顯光亮的放電現象，一般都發(fā)生在高電壓（大于5kv）和較高頻率（20～40kHz）條件下。

        介質(zhì)阻擋放電，是絕緣介質(zhì)覆蓋在電極上或者懸掛在放電空間中的一種氣體放電。當在電極上施加足夠高的交流電壓，電極之間的氣體發(fā)生電離，而電極間的介質(zhì)能起到儲能作用，限制放電電流的自由增長(cháng)，進(jìn)而產(chǎn)生大量細絲狀、延時(shí)極短的脈沖微放電，均勻穩定地充滿(mǎn)整個(gè)放電間隙，同時(shí)能抑制級間火花或弧光的產(chǎn)生。

        采用介質(zhì)阻擋放電方式的等離子體反應器，一般都采用陶瓷、石英等防腐蝕介質(zhì)材料，電極與廢氣不直接接觸，從而可以一定程度避免設備腐蝕問(wèn)題。而電暈放電技術(shù)（或針尖放電式）通常是氣體與電極直接接觸的，即使通過(guò)的氣體沒(méi)有腐蝕性，但等離子體中的活性強氧化物質(zhì)（如臭氧）也可能腐蝕電極。相對而言，采用介質(zhì)阻擋放電方式比電暈放電方式（如針尖放電）更安全。

        值得注意的是，低溫等離子體技術(shù)主要是將有機分子中的化學(xué)鍵打斷，但尚未能完全將有機物礦化成CO2和H2O。以某治理項目為例，非甲烷總烴的去除率僅為45%，而惡臭的去除率可達93%。這主要是因為非甲烷總烴經(jīng)過(guò)處理后，大分子變成小分子，用色譜法檢測依然表現為非甲烷總烴；而分解過(guò)程中產(chǎn)生的部分異味副產(chǎn)物（如臭氧等）亦會(huì )對惡臭的去除率有一定影響。

        因此，正經(jīng)的低溫等離子體技術(shù)供應商，通常還會(huì )在等離子反應器前配置預處理系統，有效去除廢氣中的粉塵和水分，并且也會(huì )在反應器后再配置后處理系統，延長(cháng)廢氣與活性物質(zhì)的反應時(shí)間，同時(shí)對多余的活性物質(zhì)（主要是臭氧）進(jìn)行分解消除。

       以低溫等離子廢氣處理設備廠(chǎng)家的小編的理解，高壓電源就是低溫等離子技術(shù)的核心。電壓和頻率是電源能量輸出的兩個(gè)重要參數。

      氣體中出現的自由電子只有從一定強度的電場(chǎng)中獲得能量成為高能電子，然后才能與氣體分子發(fā)生碰撞，將能量傳遞給該分子，使該氣體分子的外層電子脫離核的束縛，從而產(chǎn)生更多的自由電子和帶正電的離子。
      頻率的提高會(huì )增加單位時(shí)間內局部放電的平均脈沖個(gè)數，放電的重復率增加。但研究結果表明，當電壓一定時(shí)，污染物的去除率隨頻率的提高先增加后減小。在實(shí)際應用中，應充分考慮電源與等離子體反應器的匹配關(guān)系，并充分考慮諧振帶來(lái)的影響。